洁净室中的温湿度控制洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间温度不宜超过25度,湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以清除。相对湿度越高,粘附的越难去掉,但当相对湿度低于30%时,净化工程无尘室厂家,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产Zuii佳湿度范围为35—45%。
十万级无尘车间装修需要注意哪些细节
彩钢板,隔间、吊顶都需要用彩钢板,通常都需要用防火岩棉荚芯彩钢板,隔墙一般彩用50mm防火岩棉彩钢板,而顶板呢?为了考虑今后的维护考虑需来回在顶板走动,我司会建意采用玻镁板,因为此价格较高。当然也会用纸蜂窝彩钢板。纸蜂窝荚芯彩钢板优点:重量轻、强度好,但性价比不高。岩棉彩钢板作为首板材质作为隔墙,纸蜂窝作为顶板。地坪:一般采用2mm/3mm环氧地坪或是PVC地坪,台州净化工程无尘室,地坪材质根据不同行业、面积而定。A、环氧地坪:面积越大采用的环氧地坪机率越高。优点:环氧地坪耐磨。缺点:修补会有色差、施工周期长。B、PVC地坪:面积小大部分采用PVC,优点:施工周期快,易修补; 缺点:因为PVC铺设时有拼接缝,易积灰。送回风管道用热渡锌板制成,贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板高1效送风口宜用不锈钢框架,净化工程无尘室设计,美观清洁,冲孔网板用烤漆铝板,不生锈不粘尘,宜清洁。以上是我司通过施工总结出来的经验之谈,当然无尘室的维护及保养也非常重要,直接牵涉到空调系统的正常运行。
我国 无菌车间行业应加强技术创新:
紫外线灭菌杀菌 无菌车间(或接种箱内)喷洒3~5%石炭1酸溶液,一 方面使空气中附着有微生物的尘埃下降,另一方面也可以杀1死一部门细1菌。周护养后的筹备工作1 若层流净化台检测功效跨越划定尺度,应用尘埃粒子计数器找出其高1效过滤器的泄露1点并修补,净化工程无尘室价格,需要时,请维修工改换高1效过滤器或调风速。
tba/19 机 无菌车间边Zuii主要无菌车间机种典型,当然要配合现场出产线。
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